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集成电路与光刻机 
定 价：58 元
9 7 6 8 5 7 7 0 9 3 2 0 3 读者对象:本书主要为企业、高校和科研院所从事高端光刻机研发的科研人员提供参考，也可供相关研究方向的学生阅读，也适合对光刻机感兴趣的大众。
光刻机是集成电路制造的核心装备，直接决定了集成电路的微细化水平。本书介绍了集成电路与光刻机的发展历程；重点介绍了光刻机整机、分系统与曝光光源的主要功能、基本结构、工作原理、关键技术等；简要介绍了计算光刻技术；最后介绍了光刻机成像质量的提升与光刻机整机、分系统的技术进步。
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