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为了应对我国在集成电路领域,尤其是光刻技术方面严重落后于发达国家的局面,破解光刻制造设备、材料和光学邻近效应修正软件几乎完全依赖进口的困境,作为从事光刻工艺研发近20年的资深研发人员,作 者肩负着协助光刻设备、材料和软件等产业链共同研发和发展的责任,将近20年的学习成果和研发经验汇编 成书,建立联系我国集成电路芯片

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《新型太阳燃料光催化材料/新材料科学与技术丛书》介绍了光催化原理和基础，对近年来广泛研究的各种具有代表性的光催化材料（如二氧化钛、硫化物、石墨烯基和石墨相氮化碳光催化材料）的组成、结构和能带调控、各种改性策略及它们在太阳燃料方面的应用进行了详细的探讨，另外还分析了助催化剂的作用机制。全书内容丰富、结构严谨。书中的实例分

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《IGBT疲劳失效机理及其健康状态监测》通过详细分析IGBT芯片与封装疲劳失效机理,在研究失效特征量随疲劳老化时间变化规律的基础之上,通过将理论分析与解析描述相结合,建立了IGBT相关电气特征量的健康状态监测方法,对处于不同寿命阶段的IGBT器件健康状态进行有效评估。《IGBT疲劳失效机理及其健康状态监测》可作为从事电

名师讲科技前沿系列是作者在清华大学长期授课教案的归纳和扩展。《图解OLED显示技术》是其中的一个分册，内容包括OLED发展简介、OLED如何实现发光和显示、如何提高OLED的发光效率、OLED的结构和材料、OLED是如何制造的、OLED的现状和未来等，涉及OLED的方方面面。针对OLED的入门者、制作者、研究开发者等多