《航空基础技术丛书：航空精密超精密制造技术》共分7章：第1章精密、超精密制造技术概论；第2章航空精密加工技术；第3章航空超精密加工技术；第4章航空微系统制造技术；第5章精密坐标测量技术；第6章精密、超精密加工设备；第7章惯导测试与运动仿真技术及设备。

第1章 精密、超精密制造技术概论
1.1 精密、超精密制造技术概念
1.2 精密、超精密制造技术对航空制造业的重要作用
1.3 精密、超精密制造技术分类
1.3.1 航空精密、超精密制造技术体系
1.3.2 航空精密、超精密加工技术分类
1.4 航空精密、超精密制造技术的特点
1.5 精密、超精密制造技术的发展现状
1.6 精密、超精密制造技术在航空制造业中的应用
1.7 航空精密、超精密制造技术的发展趋势

第2章 航空精密加工技术
2.1 概述
2.2 航空精密加工技术的特点
2.3 航空精密加工技术的方法
2.3.1 分类
2.3.2 精密加工基础技术方法
2.4 航空精密加工技术典型应用
2.4.1 精密偶件类零件制造技术
2.4.2 精密薄壁结构零件的制造技术
2.4.3 壳体类零件制造技术
2.4.4 难加工材料精密制造技术

第3章 航空超精密加工技术
3.1 概述
3.1.1 发展超精密加工技术的重要性
3.1.2 超精密加工技术的发展现状
3.1.3 超精密加工技术的发展
3.1.4 超精密加工技术的分类
3.2 超精密加工工艺方法
3.2.1 超精密切削加工技术
3.2.2 超精密磨削和研磨加工技术
3.2.3 超精密复合加工技术
3.3 航空超精密加工技术的典型应用
3.4 超精密加工的支撑环境
3.4.1 空气环境和热环境
3.4.2 洁净室
3.4.3 分层次的局部环境
3.4.4 振动环境
3.4.5 隔振器的隔振原理
3.4.6 噪声环境
3.4.7 其他环境
3.4.8 超精密加工的环境设施

第4章 航空微系统制造技术
4.1 概述
4.1.1 惯导器件微小零件
4.1.2 微光学元件及微小结构
4.1.3 伺服阀微小结构
4.1.4 微组装
4.1.5 微小动力装置
4.1.6 微光电子器件
4.1.7 航空微系统
4.2 微系统制造技术的特点
4.2.1 超微细加工是制造技术的极限
4.2.2 精密机械、仪器、仪表的需求催生了微细加工技术
4.2.3 电子设备微型化和集成化的需求促进了微细加工技术的发展
4.2.4 大规模集成电路的制造是微细加工技术的主要应用领域
4.2.5 微细加工的特点
4.2.6 微细加工与其他技术的关系
4.3 微系统制造技术的方法
4.3.1 微细加工的基础技术
4.3.2 微细切削加工技术
4.3.3 微细特种加工技术
4.4 航空微系统制造技术
4.4.1 微电子器件制造技术
4.4.2 微机电系统制造技术
4.4.3 微光电子器件制造技术
4.4.4 微细切削加工技术
4.5 航空微系统制造关键技术
4.5.1 微电子器件关键制造技术
4.5.2 微机电系统关键制造技术
4.5.3 微光电子器件关键制造技术
4.5.4 微三维零件微细加工技术
4.6 航空纳米技术发展与应用
4.6.1 纳米技术的特点
4.6.2 发展纳米技术的重要性
4.6.3 纳米技术的主要内容
4.6.4 纳米级测量技术
4.6.5 纳米级表层物理力学性能的检测
4.6.6 显微力学探针检测系统的应用
4.6.7 纳米级加工技术
4.6.8 纳米级器件、微型机械和微型机电系统

第5章 精密坐标测量技术
5.1 概述
5.2 精密坐标测量技术的特点
5.2.1 坐标测量原理
5.2.2 三坐标测量机的组成
5.2.3 坐标测量机的类型
5.3 精密测量技术的方法
5.3.1 产品检验与坐标测量机
5.3.2 坐标测量机检验的方案
5.3.3 三坐标测量机在集成制造系统中的应用
5.4 三坐标测量机的发展趋势
5.4.1 提高测量精度
5.4.2 提高测量效率
5.4.3 发展探测技术，完善测量机配置
5.4.4 采用新材料，运用新技术
5.4.5 发展软件技术，发展智能测量机
5.4.6 控制系统更开放
5.4.7 进入制造系统，成为制造系统组成部分
5.4.8 发展非正交坐标系测量系统
5.4.9 加强环境问题的研究
5.4.1 0加强量值传递、误差检定与补偿的研究

第6章 精密、超精密加工设备
6.1 概述
6.2 精密、超精密加工设备设计的基本原则
6.3 精密、超精密加工设备关键模块
63.1 主轴回转系统
6.3.2 直线导轨
6.3.3 机床传动系统
6.3.4 位置测量及反馈系统
6.3.5 控制系统
6.3.6 在机在位测量系统
6.3.7 床身
6.3.8 环境控制
6.4 典型超精密加工设备
6.4.1 超精密镗削加工设备
6.4.2 超精密车削加工设备
6.4.3 金刚石刀具研磨设备
6.4.4 非球面曲面多轴超精密加工设备
6.4.5 圆弧刃金刚石刀具研磨设备
6.4.6 超精密磨削加工设备
6.4.7 超精密研磨抛光设备
6.5 典型航空专用精密非标加工设备
6.5.1 立式多功能数控磨床
6.5.2 抛物线曲面精密修模设备
6.5.3 100t热压机
6.5.4 滚动接触疲劳实验机
6.6 精密、超精密元部件
6.6.1 导电滑环
6.6.2 容栅位移传感器
6.6.3 圆感应同步器
6.6.4 平面气浮轴承
6.6.5 液体静压导轨与轴承
6.6.6 液压伺服阀

第7章 惯导测试与运动仿真技术及设备
7.1 概述
7.2 惯性导航测试基础技术
7.2.1 惯性导航的概念
7.2.2 惯性导航测试方法
7.2.3 陀螺仪试验
7.2.4 加速度计试验
7.2.5 惯性导航系统的测试
7.3 惯导测试和运动仿真设备
7.3.1 基本概念
7.3.2 国内外技术发展
7.3.3 转台主要技术特点
7.3.4 转台的应用与发展
7.3.5 转台的技术发展趋势
参考文献

　　1.5精密、超精密制造技术的发展现状
　　精密、超精密制造技术是当代工业强国发展的核心技术之一，是先进制造业的基础技术，也是衡量其科学技术水平的重要标志。其最初推动力和持续推动力是军事工业的需求，近些年其他高技术领域（如信息技术、生物技术、认知技术、智能技术等）和民用领域对超精密制造技术的需求也迫切起来。
　　现代战争对武器装备和信息技术的依赖越来越强，近20年来，以美国为首的西方国家在其参与的国际战争中展现的各类新型武器装备，以及所体现出来的现代战争的新观念、新战法，给世人留下深刻的印象。表现在先进制导武器越来越普遍使用超视距作战和夜战能力的提高、电子对抗战的升级、军用卫星系统的作用、各作战单元之间及与指挥系统间的及时信息交换等。
　　超精密制造技术已成为研制现代化武器装备的关键技术。如人造卫星用的姿态轴承和遥测部件、导弹惯性仪表、激光陀螺仪的平面反射镜、红外制导的导弹反射镜、光学非球曲面零件等，其制造精度达1～10nm级，而表面粗糙度要求≤0.5nm，这些都需要超精密制造技术解决。
　　信息技术的基础产品微电子芯片的制造也离不开超精密制造技术，其中光学平晶、集成电路硅基片的加工，采用超精密研磨和抛光，可达纳米级的镜面。微电子芯片，采用紫外线、深紫外线光刻，可达0.35～0.18μm的线宽，采用LIGA技术（X光光刻和电铸成形）可达0.1μm的线宽，采用电子束、离子束、X光光刻，则可达数十纳米到纳米级的线宽。
　　武器装备和信息技术的发展需求推动了精密、超精密制造技术进步，反过来精密、超精密制造技术的进步又极大地促进了新型武器装备和现代信息技术的发展。同时作为现代高科技的基础技术和重要组成部分，精密、超精密制造技术推动着半导体技术、光电技术、微机电系统、材料科学等多门技术的发展进步。
　　超精密制造技术的研究是美国从20世纪60年代为航天工程的需要而开展的，研究伊始就成立了著名的劳伦斯·利弗莫尔实验室（LLNL），实验室在成立初期非常重视超精密加工基础工艺和设备的研究，先后研制出一系列超精密车削、磨削等加工设备。美国许多重大国防工程项目中的关键元部件，如惯导器件、核聚变反射镜、哈勃望远镜等都出自该实验室，可以说LLNL是美国超精密制造技术的源头。
　　各国的超精密加工技术多是以国家实验室为源头发展起来的。英国有克兰菲尔德（CUPE）实验室，著名的X射线望远镜即出自该实验室，它已成为英国研究超精密制造技术的中心，为英国的高技术产品做出了突出贡献。此外，荷兰的菲利普（Philips）实验室、德国的阿歇恩（Archen）实验室。日本许多大公司建立的超精密加工实验室（如丰田工机、不二越等）都为该国的技术与经济发展做出了重要贡献。美国、日本、英国等国家的超精密加工技术不仅在技术和精度上领先于世界，而且已经形成产业。例如，美国利用计算机数控单点金刚石车削技术（SPDT）、计算机数控精磨抛光技术、计算机数控离子束成形技术以及热压成形等技术批量加工光学非球面零件，加工工艺非常成熟，不仅可以加工轴对称非球面、离轴对称非球面，而且还可以加工非轴对称非球面。
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