《Ⅲ-Ⅴ族光电探测器及其在光纤通信中的应用》全面阐述了Ⅲ-Ⅴ族光电探测器的基本理论、制备工艺、主要性能特点及未来发展趋势,并详细讲述了Ⅲ-Ⅴ族光电探测器在光纤通信中的应用。全书共8章,具体内容为:光纤通信网概述、半导体物理基础、Ⅲ-Ⅴ族光电探测器、Ⅲ-Ⅴ族光电探测器制备工艺、基于Ⅲ-Ⅴ族光电探测器的解复用光接收器件、高性能Ⅲ-Ⅴ族光电探测器、高性能Ⅲ-Ⅴ族光电探测器的应用以及Ⅲ一Ⅴ族光电探测器的未来发展趋势等。
《Ⅲ-Ⅴ族光电探测器及其在光纤通信中的应用》可供高等院校、科研院所光信息科学与技术、光电信息工程、光电子技术等专业的高年级本科生和光学类、信息类、通信类等研究生作为必修课或选修课教材,对上述领域内从事研究、开发、生产的工程技术及研究人员也有重要的参考价值。
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目录
前言
第1章光纤通信网概述1
1.1光纤通信网发展概述1
1.2光纤通信网的特点及架构3
1.2.1光纤通信网的特点3
1.2.2光纤通信网的架构4
1.3波分复用系统7
1.3.1波分复用系统的基本概念及特点7
1.3.2波分复用系统的构成7
1.3.3波分复用系统的波分复用器件和应用8
参考文献9
第2章半导体物理基础10
2.1材料类型10
2.1.1半导体材料10
2.1.2其他材料11
2.2材料特征13
2.2.1折射率13
2.2.2工作波长14
2.2.3非线性效应15
2.2.4偏振效应16
2.3半导体理论基础17
2.3.1能带理论17
2.3.2能级跃迁和辐射19
2.3.3粒子数反转21
2.3.4掺杂作用22
2.3.5PN结23
参考文献24
第3章Ⅲ-Ⅴ族光电探测器26
3.1光电探测器简介26
3.1.1光接收机26
3.1.2光电探测器(光电检测器)28
3.2新型光电探测器的分类30
3.2.1单行载流子光电探测器30
3.2.2波导型光探测器31
3.2.3双吸收层型光探测器32
3.3光电探测器的工作特性33
3.3.1量子效率与响应度33
3.3.2响应速度35
3.3.3暗电流36
3.3.4线性响应度36
3.3.5噪声特性37
参考文献39
第4章Ⅲ-Ⅴ族光电探测器制备工艺40
4.1晶体的生长和外延40
4.1.1晶体的生长40
4.1.2外延生长技术42
4.1.3外延层的结构和存在问题43
4.2薄膜淀积44
4.2.1热氧化44
4.2.2射频溅射实现金属化45
4.3基于光刻与刻蚀的平面加工46
4.3.1光学曝光技术46
4.3.2电子束曝光技术48
4.3.3刻蚀技术49
4.3.4模型加工技术51
参考文献53
第5章基于Ⅲ-Ⅴ族光电探测器的解复用光接收器件54
5.1光电集成技术的发展及其在解复用光接收器件中的应用54
5.2波分复用系统中的光波分解复用器58
5.2.1TFF型解复用器58
5.2.2AWG型解复用器60
5.2.3FBG型解复用器61
5.3波分复用系统解复用光接收器件62
5.3.1波导型光探测器63
5.3.2基于F-P滤波腔的光探测器65
5.3.3谐振腔增强型光探测器66
参考文献67
第6章高性能Ⅲ-Ⅴ族光电探测器70
6.1基于垂直楔形吸收腔的Si基长波长解复用光接收器件71
6.1.1器件的基本结构71
6.1.2理论计算与特性分析71
6.1.3器件的外延生长和制备75
6.1.4器件的测试和分析79
6.2基于锥形吸收腔的Si基长波长解复用光接收器件81
6.2.1基本结构与理论仿真82
6.2.2圆锥形微结构的制作工艺87
6.2.3器件的外延生长与制备88
6.2.4器件的测试和分析88
6.3具有干顶陡边光谱响应的Si基长波长集成解复用光探测器90
6.3.1具有平顶陡边响应特性的Si基长波长集成解复用光探测器的理论分析94
6.3.2基于BCB树脂的晶片键合技术98
6.3.3器件的外延生长和制备100
6.3.4器件的测试和分析104
参考文献106
第7章高性能Ⅲ-Ⅴ族光电探测器的应用110
7.1接入光网络110
7.1.1网络特点110
7.1.2关键技术111
7.1.3实例分析116
7.2动态可重构光网络122
7.2.1网络特点122
7.2.2关键技术122
7.2.3实例分析124
7.3相干光网络126
7.3.1网络特点126
7.3.2关键技术127
7.3.3实例分析129
参考文献130
第8章Ⅲ-Ⅴ族光电探测器的未来发展趋势131
8.1光电探测器的展望131
8.2新器件与新技术132
8.2.1单行载流子光探测器133
8.2.2基于微纳结构集成的Ⅲ-Ⅴ族光探测器135
8.2.3聚焦离子束加工技术138
8.2.4软光刻加工技术139
参考文献140