本书介绍表面分析主要技术，包括俄歇电子能谱、X射线光电子能谱、二次离子质谱、低能粒子散射和卢瑟福背散射技术、表面分子振动光谱技术以及扩展X射线吸收精细结构和扫描隧道显微技术、原子力显微技术等。
本书主要阐述上述表面分析技术的基本原理和实用样品实例分析，每章结尾处还附有相关的分析练习题供读者训练，判断自己对书中知识内容掌握的程度。
陈建，1969年1月生。中山大学研究员、教授、博士生导师。2001年获中山大学凝聚态物理博士学位，导师许宁生院士。2002—2003年在香港中文大学从事博士后研究工作。现任国际标准化委员会委员、中国物理学会光散射专业委员会秘书长、全国微束分析标准化技术委员会表面化学分析分技术委员会委员、广东省分析测试协会理事、广东省表面分析专业委员会主任委员、广东省石墨烯标准化技术委员会委员以及《光散射学报》和《光谱学与光谱分析》编委。
第1章 引言
1.1 如何定义表面
1.2 表面有多少个原子
1.3 需要的信息
1.4 表面灵敏度
1.5 辐射效应与表面损伤
1.6 数据的复杂性
第2章 俄歇电子能谱
2.1 引言
2.2 俄歇过程的原理
2.2.1 俄歇峰的动能
2.2.2 电离截面
2.2.3 俄歇电子和光子出射的比较
2.2.4 电子背散射
2.2.5 逃逸深度
2.2.6 化学位移
2.3 仪器设备
2.3.1 电子源
2.3.2 谱仪
2.3.3 采集方式
2.3.4 检测限
2.3.5 仪器校准
2.4 定量分析
2.5 深度剖析
2.5.1 薄膜校准标样
2.5.2 深度分辨率
2.5.3 溅射速率
2.5.4 择优溅射
2.5.5 λ-修正
2.5.6 AES剖析中的化学位移
2.6 结论
思考题
第3章 化学分析用电子能谱
3.1 概述
3.1.1 基本ESCA实验
3.1.2 光电效应和ESCA的历史
3.1.3 ESCA提供的信息
3.2 X射线与物质的相互作用、光电效应和固体的光电发射
3.3 结合能和化学位移
3.3.1 Koopmans定理
3.3.2 初态效应
3.3.3 终态效应
3.3.4 结合能参考基准
3.3.5 绝缘体的电荷补偿
3.3.6 峰宽
3.3.7 峰拟合
3.4 非弹性平均自由程和采样深度
3.5 定量
3.5.1 定量方法
3.5.2 定量标准
3.5.3 定量实例
3.6 谱图特征
3.7 仪器
3.7.1 ESCA实验的真空系统
3.7.2 X射线源
3.7.3 分析器
3.7.4 数据系统
3.7.5 附件
3.8 谱图质量
3.9 深度剖析
3.10 X-Y分布和成像
3.11 化学衍生法
3.12 价带
3.13 展望
……
第4章 SIMS的分子表面质谱
第5章 动态SIMS
第6章 低能离子散射和卢瑟福背散射
第7章 表面振动光谱
第8章 基于干涉技术的表面结构确定
第9章 扫描探针显微镜
第10章 多变量数据分析技术在表面分析中的应用
附录1 应用表面科学真空技术
附录2 单位、基本物理常数和换算
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