本书系统介绍电子束制备物理气相沉积硅的机理，从数值模拟角度提出氩气调控制备气相沉积硅的技术，分析气态硅迁移、沉积行为及气相沉积硅的微观结构，并通过研磨法制备纳米硅氧化硅颗粒。在此基础上，利用自组装法制备了纳米硅碳负极材料及硅碳石墨负极材料，分析其微观结构和物化状态，通过循环测试分析了电化学性能，并阐明硅烷偶联剂对纳米硅碳负极材料微观结构和电化学性能的影响。从微观结构和物相变化角度论述纳米硅碳负极材料嵌脱锂稳定性，阐明了纳米硅颗粒与碳层的破坏、Li15Si4合金生长的电极电位以及对嵌脱锂稳定性的影响。本书可供

1绪论1.1电池发展简史1.2锂离子电池的发展趋势1.3锂离子电池的应用及市场参考文献2锂离子电池组成及硅基负极材料2.1锂离子电池2.2纳米硅制备常用方法2.3自组装制备纳米硅-碳负极材料2.4纳米硅基负极材料在锂离子电池的应用参考文献3纳米硅-碳负极材料制备常用方法3.1引言3.2化学合成法3.3气相沉积法3.4自组装法参考文献4电子束蒸发制备物理气相沉积硅4.1引言4.2纳米硅的制备设备及工艺4.3氩气调控气态硅迁移的数值模拟模型4.4气态硅迁移和凝固及氩气调控规律4.5物理气相沉积硅收集装置参考文献