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基于大数据技术的高频往复轻质结构动力学特性分析及振动抑制研究 高频旋转轻量化结构在多维惯性冲击下产生了非线性的运行振动,呈现柔性特性,这不仅阻碍了微电子制造业生产效率的提高,也限制了先进数控装备优越性的发挥。本书基于高频旋转轻量化结构,构建动力学特征机器学习模型,运用机器学习算法辨识多维惯性冲击下结构的动力学参数。在大量低价值的响应信号中提取有用的振动特征,挖掘出直接影响终端定位精度的振动特征变化规律。从结构形式、工作时序等多维度研究抑制多阶高频振动的方法,终实现提高芯片定位精度的目标。
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