本书针对研磨废液中碳化硼未能进行有效回收，既浪费资源，又污染环境的现实问题，从研磨材料和工艺、废液料物化特性、研磨废液料固液分离方法与优选、碳化硼回收设备结构设计、碳化硼回收技术工业应用等方面展开相关研究论述。提出了一种针对研磨废液可用水溶性溶剂进行固液分离，且可按固体颗粒粒径差异进行固固分离的碳化硼回收技术；设计了工业应用方案和碳化硼回收设备样机；验证了研磨废液中碳化硼的回收率。全书内容全面、逻辑层次清晰，对研磨废液中碳化硼的回收再利用具有一定的指导和借鉴意义。

第一章 绪论
第一节 技术现状
一、国内现状
二、国外现状
第二节 研究意义
第三节 研究内容
一、技术路线
二、内容结构
第四节 本章小结
第二章 研磨工艺及废液物性
第一节 LED衬底研磨材料
一、蓝宝石衬底
二、碳化硼磨料
第二节 衬底研磨工艺
一、衬底加工流程
二、衬底研磨机理
三、衬底研磨方法
第三节 研磨废液料物性
一、F240-W研究
二、F240-WL研究
三、F240-WS研究
第四节 本章小结
第三章 基于AHP法碳化硼回收方法的优选
第一节 研磨废液中碳化硼分离方法分析
一、常规过滤法
二、离心分离法
三、重力沉降法
四、振动筛分法
第二节 AHP法理论工具
一、AHP法简介
二、AHP法决策步骤
第三节 AHP法建模与计算
一、四种分离方法的AHP建模
二、四种分离方法优选的计算
三、四种分离方法的优选结论
第四节 本章小结
第四章 碳化硼循环再利用设备结构设计
第一节 设备结构的初步设计
一、整体设计
二、回收模块
三、辅助模块
四、初步方案讨论
第二节 基于TRIZ理论的方案优化
一、TRIZ理论工具
二、TRIZ“九屏幕法”优化设计思路
三、“SAFC分析模型”确定最终方案
第三节 基于最终方案的设备结构设计
一、设备主体结构
二、搅拌清洗模块
三、振动筛分模块
四、设备外部结构
第四节 本章小结
第五章 碳化硼循环再利用设备样机制作与应用
第一节 样机硬件结构研制
一、样机主要零部件
二、样机部件的组装
第二节 样机软件系统开发
一、PLC控制程序
二、触摸屏显示
三、电路控制系统
第三节 样机应用与检测
一、样机调试应用
二、回收效果检测
三、回收率的测定
第四节 研磨液自动配比系统
一、m-V配比算法
二、系统结构方案
三、方案应用举例
第五节 本章小结
第六章 结论与展望
参考文献