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硅微机械陀螺误差建模理论与方法 
定 价：150 元 丛书名：无
9 7 7 8 3 7 9 0 4 3 9 0 0 读者对象:微机电系统工程(MEMS)，传感芯片技术，微型角速率传感器等专业技术领域基础研究及工程应用人员
本书共9章，以硅微机械陀螺为研究对象，通过数学物理方程推导微机电系统宏模型，采用对称拓扑设计微机械陀螺结构，制订简单、高效的工艺加工微机械陀螺，根据精密控制、电学知识设计微机械陀螺测控电路，从而阐明硅微机械陀螺误差产生机理，并为减小误差提供研究思路。本书内容新颖，简明扼要。
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