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机械量传感器与MEMS技术及应用 读者对象:本书可作为电子科学与技术、电气工程及其自动化、自动化、测控技术与仪器、机械工程及自动化、过程装备与控制工程、探测制导与控制技术等专业科技工作者,以及工程技术管理人员的参考,也可供相关专业的大学高年级学生、研究生参考
本分册介绍机械量传感器及其应用。包括传感器静态、动态性能的评估,传感器用基本弹性敏感元件的力学特性;机械量传感器用到的变电阻、变电容、变电感、压电式、谐振式等基本测量原理;力、力矩、速度、转速、角速度、加速度、振动、温度、压力以及流量传感器等;机械量传感器的典型应用实例。
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