本书主要叙述了涂层与薄膜材料沉积制备的现代材料表面处理技术与应用，着重以表面密切相关的等离子体、电子束、激光束、离子束等先进科学技术为基础，结合涂层材料、薄膜材料的特点，涉及表面科学中与表面相关的基本理论，以及材料表面改性、先进的薄膜气相沉积技术与表面复合技术，并扼要介绍了表面微细加工技术和表面检测分析研究方法等内容。