《薄膜材料科学(第2版)》详细介绍了涉及薄膜材料科学的各个方面，内容包括真空技术、薄膜沉积技术与原子过程、薄膜的结构与性能表征等。本书内容广泛，资料全面，各章后面附有习题，是一本真正意义上的薄膜科学与技术的教科书。该书自1992年第1版问市以来，深受材料科学界的广泛欢迎。非常适用于从事薄膜材料研究的专业研究人员、材料类院系高年级本科生和研究生作教材或参考书。本书由中国科学院物理研究所研究员曹则贤先生特别推荐。

第1章 材料科学基础第2章 真空科学与技术第3章 薄膜热蒸发过程第4章 放电、等离子体、离子与表面的相互作用第5章 薄膜制备的等离子体与离子束工艺第6章 化学气相沉积第7章 基底表面与薄膜成核第8章 外延生长第9章 薄膜结构第10章 薄膜及表面的特性第11章 薄膜内的互扩散、反应和相变第12章 薄膜的力学性能习题附录