本教材是为测控技术与仪器专业的本科生设置的专业必修课《精密仪器设计》编写的教材。教材共设8章，包括概论、仪器的精度理论、仪器的总体设计、光学系统、精密机械系统、电路系统设计、控制系统、精密仪器设计实例。主要介绍精密仪器的机械、光学和电子部分主要结构、基本原理和设计方法，并结合实例从光机电一体化的设计思想突出精密仪器的特点和设计方法。

前言
**章精密仪器概论
**节概述
第二节精密仪器的重要性和展望
第三节精密仪器的设计要求和过程
作业与思考题
第二章仪器的精度理论
**节精度理论的基本概念
第二节误差的处理和评定
第三节仪器的精度分析
第四节仪器的精度设计
作业与思考题
第三章精密仪器总体设计
**节总体设计的相关基础
第二节总体设计内容
第三节 总体设计举例
作业与思考题
第四章机械系统设计
**节机构设计基础
第二节机械传动机构设计
第三节导向机构设计
第四节微位移机构设计
作业与思考题
第五章光学系统设计
**节概述 一
第二节光学基本理论
第三节典型光学元件及成像理论
第四节典型光学系统
作业与思考题 一
第六章伺服系统设计
**节概述
第二节开环伺服控制系统设计
第三节 闭环伺服控制系统设计
作业与思考题
?第七章 电路系统设计
**节 电路系统组成与设计要求
第二节 电路系统硬件设计
第三节 电路系统软件设计
第四节 电路系统抗干扰及可靠性设计
作业与思考题
第八章。精密仪器设计实例
**节激光干涉测长仪设计
第二节便携式近红外光谱仪器设计
作业与思考题
实验部分
实验一测量显微镜结构分析设计
实验二精密工作台控制系统设计
实验三精密工作台控制计算机系统设计
实验四单色仪光栅扫描计算机控制系统设计
参考文献