4传感器材料的合成和沉积
1沉积技术概述
2真空蒸镀和真空沉积
3溅射技术
4液相生长热氧化法(RCTO)技术
5激光烧蚀或脉冲激光沉积
6离子束辅助沉积(IBAD)
7化学气相沉积
8气溶胶化学气相沉积
9水溶液沉积
10溶胶凝胶法
11粉体技术
12聚合物技术
13纤维上的沉积
14展 望
15致 谢
参考文献
5传感材料的改性：金属氧化物材料工程
1引 言
索引
丛书书目