本书涵盖了光学测量技术的方方面面，包括光学测量技术的发展机遇与挑战、传统光学测量技术以及对未来光学测量技术的展望。首先概述光电测量技术；然后分别针对大尺寸零件、中等尺寸零件以及微小尺寸零件的测量介绍相应的激光跟踪技术、位移干涉测量技术、相移技术、便携式测量技术以及基于干涉的显微技术、基于聚焦的光学测量技术；最后，介绍先进光学显微测量技术及其应用。
本书可作为从事光学测量技术工程师的入门书，也可作为光学工程专业的本科生、研究生和教师的参考书。由于本书中的各个章节之间相对独立，针对特定知识的阅读，只需要阅读相应的章节即可。

第1篇 光学测量技术
第1章 光学测量技术概述
1.1 概述
1.1.1 探测器技术论证
1.2 探测器技术
1.2.1 探测器技术的基本概念
1.3 过程控制探测器
1.3.1 机器视觉探测器概述
1.4 3D探测器概述
1.4.1 3D技术的讨论
1.4.2 点三角测量法
1.4.3 线三角测量法
1.4.4 面积三角测量法和莫尔测量法
1.4.5 激光探头的应用现状
1.5 误差分析
1.5.1 接触式探头误差
1.5.2 设备轴线误差
1.5.3 非接触式探头误差
1.5.4 3D探头误差
1.5.5 测量基准误差
1.6 总结和展望
参考文献
第2章 基于机器视觉的测量
2.1 机器视觉技术
2.2 搭建机器视觉
2.3 机器视觉照明
2.4 机器视觉中的光学成像
2.5 光学性能
2.5.1 透镜
2.5.2 窗口
2.5.3 反射镜
2.5.4 面形质量
2.6 滤光片
2.6.1 干涉滤光片
2.6.2 彩色玻璃滤镜
2.7 薄膜
2.7.1 增透膜
2.7.2 反射膜
2.7.3 孔径
2.8 棱镜
2.8.1 恒偏向棱镜
2.8.2 旋转图像棱镜
2.9 光学测试元件
2.9.1 反射面
2.9.2 漫反射面
2.9.3 定向反射/投射面
2.9.4 余弦图
2.10 光学系统的设计
2.11 相机
2.12 机器视觉软件
2.13 应用
2.14 小结与展望
2.14.1 小结
2.14.2 展望
参考文献
第2篇 大尺寸物体的光学测量
第3章 激光跟踪系统
3.1 概述
……
第3篇 中等尺寸物体的光学测量
第4篇 小尺寸物体的光学显微测量
第5篇 先进光学显微测量方法